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美國(guó)SONIX超聲顯微鏡ECHO-LS
詳細(xì)信息
SONIX 公司是丹納赫集團(tuán)(NYSE: DHR)下的全資子公司,是全球超聲波掃描檢測(cè)儀和無(wú)損檢測(cè)設(shè)備的制造商。 自1986年成立以來(lái),SONIX 在無(wú)損檢測(cè)領(lǐng)域中不斷改革創(chuàng)新,是一家基于微機(jī)平臺(tái),提供全數(shù)字化成像方案的公司。
SONIX 一直致力于技術(shù)革新,提供給客戶(hù)的聲學(xué)檢測(cè)技術(shù)。 SONIX 設(shè)備被廣泛應(yīng)用于各種材料的無(wú)損檢測(cè),包括半導(dǎo)體,汽車(chē)零件等等。
超聲波掃描顯微鏡被廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體以及集成電路的制造和封裝測(cè)試行業(yè),是一種理想的無(wú)損檢測(cè)儀器,能夠有效地檢測(cè)器件或材料內(nèi)部的開(kāi)裂、氣泡、雜質(zhì)、斷層等缺陷。
其主要工作原理是,通過(guò)壓電陶瓷將電信號(hào)轉(zhuǎn)換成超聲波(>20KHz),用超聲波對(duì)樣品內(nèi)部進(jìn)行高精度地掃描,根據(jù)超聲波在不同密度材料中的傳播速度和反射系數(shù)的差異,獲得樣品內(nèi)部不同區(qū)域的超聲波透射或反射,再經(jīng)由軟件算法處理和成像。SAM的核心構(gòu)成為,電氣部件、機(jī)械裝置、聲學(xué)部件、軟件系統(tǒng)。
SONIX ECHO VS™ 是專(zhuān)為更高精度要求,更復(fù)雜元器件設(shè)計(jì)的新一代設(shè)備。
美國(guó)SONIX超聲顯微鏡ECHO-LS
產(chǎn)品特點(diǎn)
SONIX Echo-LS 能檢測(cè)到小至 0.05um 的缺陷,而且對(duì)于 bump、疊 die(3D 封裝)、倒裝芯片及各種傳統(tǒng)的塑料封裝等具有的檢測(cè)性能。提高生產(chǎn)效率和產(chǎn)量,使用 ECHO 的設(shè)備和軟件容易的設(shè)置和使用。
美國(guó)SONIX超聲顯微鏡ECHO-LS技術(shù)參數(shù)機(jī)臺(tái)尺寸 79cm*9cm*22cm 步進(jìn)軸(Y) 定位裝置:低電磁干擾導(dǎo)軌式步進(jìn)馬達(dá) 掃描軸(X) 定位裝置: 線性伺服馬達(dá) 分辨率:0.25um 大速度:1000mm/sec 大掃描區(qū)域:350mm 重復(fù)精度:+/-0.5um 聚焦軸(Z) 定位裝置:低電磁干擾導(dǎo)軌式步進(jìn)馬達(dá) 編碼器分辨率:0.5um 分辨率:0.25um 大掃描區(qū)域:350mm 大行程:50mm 夾具 JEDEC標(biāo)準(zhǔn)尺寸托盤(pán)夾具 脈沖發(fā)生器 DPR500 接收器配置L2/H4脈沖發(fā)生器 掃描平臺(tái)可固定*的托盤(pán)夾具 可選U4超高頻脈沖發(fā)生器 透射桿探頭固定 流體系統(tǒng) 循環(huán)泵和5um過(guò)濾器 注:ECHO LS是目前國(guó)內(nèi)使用廣泛的一款型號(hào)
工藝過(guò)程監(jiān)測(cè)
合格/失效分選
**認(rèn)證
SONIX 掃描探頭頻率范圍從 10MHz 到 300MHz,適合各種類(lèi)型的應(yīng)用和材料。
其它關(guān)鍵特點(diǎn):
減少實(shí)驗(yàn)室空間(占地面積小)
鍵盤(pán)快捷鍵(方便移動(dòng)操作)
全焊接機(jī)身框架(促進(jìn)平臺(tái)穩(wěn)定性)
降低水槽高度(人體工程學(xué)設(shè)計(jì))
可同時(shí)進(jìn)行反射掃描和透射掃描
大 360 度可視
超大掃描面積
水槽底部?jī)A斜(易于排干水)
探頭隨 Z 軸移動(dòng)(取代托盤(pán)上下移動(dòng))
可滑動(dòng)支架
符合歐洲機(jī)械指令
緊湊、穩(wěn)定的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)(低維護(hù))
符合 CE,SEMI S2,NRTL
可滑動(dòng)的電氣面板(方便維護(hù))
防靜電涂層(安全罩、水槽、門(mén)等)
其它特色軟件功能選項(xiàng)
TAMI SCAN: 一次掃描得到多 200 張斷層圖像
ICEBERG: 強(qiáng)大的離線分析技術(shù)
WinIC Pro: 增加功能和分析
WinIC Offiline:遠(yuǎn)程分析
Waveform Simulator/Beam Emulator :波形仿真器
ECHO 機(jī)臺(tái)面板與 WinIC 軟件的組合,給用戶(hù)提供一個(gè)強(qiáng)大、簡(jiǎn)易使用的分析工具。WinIC 軟件是 Sonix 公司獨(dú)Jia研發(fā)的超聲波掃描顯示鏡成像軟件,提供先進(jìn)的圖像分析功能以幫助定量和定性分析圖像數(shù)據(jù)。WinIC 使用大量的圖形和屏幕指導(dǎo)幫助所有用戶(hù),從入門(mén)到精通。
SONIX 軟件優(yōu)勢(shì)
● 可編程掃描,自動(dòng)分析
定制掃描程序,一鍵開(kāi)始掃描,自動(dòng)完成分析,生成數(shù)據(jù)
● FSF表面跟蹤線
樣品置于不平的情況下,自動(dòng)跟蹤平面,獲取同一層面圖片
● ICEBERG離線分析
存儲(chǔ)數(shù)據(jù)后,可在個(gè)人電腦上進(jìn)行再次分析
● TAMI斷層顯微成象掃描
無(wú)需精確選擇波形,可任意設(shè)定掃描深度及等分厚度,一次掃描可獲得200張圖片,快速完成分析。
SONIX 軟件 - 應(yīng)用于塑封FlipChip和Stacked Die產(chǎn)品的成像功能
超聲波掃描顯微鏡被廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體以及集成電路的制造和封裝測(cè)試行業(yè),是一種理想的無(wú)損檢測(cè)儀器,能夠有效地檢測(cè)器件或材料內(nèi)部的開(kāi)裂、氣泡、雜質(zhì)、斷層等缺陷。
其主要工作原理是,通過(guò)壓電陶瓷將電信號(hào)轉(zhuǎn)換成超聲波(>20KHz),用超聲波對(duì)樣品內(nèi)部進(jìn)行高精度地掃描,根據(jù)超聲波在不同密度材料中的傳播速度和反射系數(shù)的差異,獲得樣品內(nèi)部不同區(qū)域的超聲波透射或反射,再經(jīng)由軟件算法處理和成像。SAM的核心構(gòu)成為,電氣部件、機(jī)械裝置、聲學(xué)部件、軟件系統(tǒng)。
SONIX ECHO VS™ 是專(zhuān)為更高精度要求,更復(fù)雜元器件設(shè)計(jì)的新一代設(shè)備。
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產(chǎn)品分類(lèi)
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工業(yè)無(wú)損檢測(cè)
- 鈷磁儀
- 電導(dǎo)率儀
- 磁導(dǎo)率儀
- 熱分析儀
- 磁粉探傷儀
- 渦流探傷儀
- 點(diǎn)焊檢測(cè)儀
- 超聲波測(cè)厚儀
- 超聲波探傷儀
- 超聲波硬度計(jì)
- 漏磁檢測(cè)系統(tǒng)
- AR視覺(jué)質(zhì)量檢查
- CR數(shù)碼成像系統(tǒng)
- 流變儀
- 敲擊儀
- 光譜儀
- 測(cè)振儀
- 試驗(yàn)機(jī)
- 粗糙度儀
- 工業(yè)相機(jī)
- 探傷儀探頭
- 測(cè)厚儀探頭
- 硬度計(jì)探頭
- 涂層測(cè)厚儀
- 工業(yè)內(nèi)窺鏡
- 電火花檢測(cè)儀
- 鈍化膜測(cè)試儀
- 附著力測(cè)試儀
- 相控陣探傷儀
- 地下管線探測(cè)
- 脈沖發(fā)生接收器
- 螺栓應(yīng)力測(cè)試儀
- 鐵素體含量測(cè)試儀
- 動(dòng)態(tài)熱機(jī)械分析儀
- X射線數(shù)字成像檢測(cè)系統(tǒng)
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計(jì)量測(cè)試儀
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環(huán)境暖通測(cè)試
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光纖通信測(cè)試
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電子電工測(cè)試儀
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其他
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