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中科科儀KYKY電子掃描顯微鏡EM6900
詳細(xì)信息
優(yōu)點(diǎn)
分辨率高、成像質(zhì)量好
翻開式預(yù)對中鎢絲陰極、選配六硼化鑭燈絲
中英文操作界面,具有一鍵成像功能
低維護(hù)、維修成本 產(chǎn)品特點(diǎn)
具備較高分辨率,滿足大多數(shù)樣品的微觀形貌測試
翻開式預(yù)對中鎢絲陰極,更換燈絲方便
成像效果優(yōu)良,細(xì)節(jié)清晰,景深大
樣品倉室可多接口擴(kuò)展,滿足諸多原位測試,以及多功能嵌入
中英文菜單,一鍵切換
自動功能:電子槍加熱、偏壓、對中、聚焦、亮度、對比度、消像散、像散記憶等。
自動校正,自動故障檢測
應(yīng)用領(lǐng)域
電池材料、半導(dǎo)體、復(fù)合材料、高分子、動植物、微生物、粉末冶金、礦物、金屬行業(yè)、建筑材料、化工材料、陶瓷材料。
技術(shù)參數(shù)
分辨率 3nm@30kV(SE)
樣品臺 自動樣品臺
加速電壓 0~30kV連續(xù)可調(diào)
探測器 高真空二次電子探測器、半導(dǎo)體四分割背散射電子探測器、CCD
燈絲 六硼化鑭(選配)
電子光學(xué)鏡筒部分: 800×800×1850(mm)
電器柜控制部分: 1340×850×740(mm)
KYKY-EM6900是一款完全由計(jì)算機(jī)控制的全自動鎢燈絲掃描電子顯微鏡,具有突出的電子光學(xué)性能,
清晰的數(shù)字化圖像,成熟的操作軟件,用戶界面友好等特征; Windows平臺,獲取圖片后可以用
常見的標(biāo)準(zhǔn)格式存儲圖像, 強(qiáng)化了圖片歸檔、圖像處理和測量、電鏡自動化及其他自動功能。
中科科儀KYKY電子掃描顯微鏡EM6900技術(shù)規(guī)格
電子光學(xué)
電子槍:預(yù)對中鎢燈絲
分辨率:3nm@30KV (SE); 6nm@30KV (BSE)
放大倍率:8~300000 倍
加速電壓:0~30kV連續(xù)可調(diào),0-10kV步進(jìn)量為100V,10kV以上步進(jìn)量為1kV
探針電流:0~2000nA
透鏡系統(tǒng):三級錐形電磁透鏡系統(tǒng),一體式屏蔽設(shè)計(jì),無漏磁,無輻射泄露
物鏡光闌:三個(gè)可在真空外調(diào)節(jié),無需拆卸鏡筒即可更換物鏡光闌
真空系統(tǒng)
二級全自動真空系統(tǒng)(機(jī)械泵+分子泵)
具備真空互鎖功能
主泵為Edwards復(fù)合渦輪分子泵
樣品倉室真空優(yōu)于2.6E-3 Pa
抽真空時(shí)間:≤ 3 分鐘
探測器
高真空二次電子探測器
四分割大面積半導(dǎo)體BSE探測器
紅外CCD攝像頭
樣品室、樣品臺
樣品室提供不少于5個(gè)可擴(kuò)展接口,可接 WDS、EDS、BSE 等多種附件和探測器
樣品臺配置:五軸全自動樣品臺
行程:X=70mm,Y=50mm,Z=45mm,R=360°,T=-5°~+90°
*大樣品直徑Ф175mm5
*大樣品高度35mm
樣品臺有碰撞報(bào)警功能
掃描、成像特性
圖像顯示:可選擇全屏顯示或分屏顯示,可進(jìn)行多通道成像,分屏上可同時(shí)進(jìn)行不同信號成像
掃描速度:預(yù)設(shè)四種掃描模式(快掃、中掃、慢掃、選區(qū)掃描),掃描速度自由配置,支持感興 趣區(qū)域掃描模式
圖像存儲格式:默認(rèn)格式為TIF,可另存為BMP、GIF、JPG、PNG
圖像處理器:*大像素顯示可達(dá)4096×4096
圖像層次豐富細(xì)致,實(shí)時(shí)顯示放大倍數(shù),標(biāo)尺,加速電壓,顯示灰度曲線
控制系統(tǒng)
操作系統(tǒng):Windows10中文版 正版系統(tǒng)
圖像存儲:大容量硬盤或其它存儲介質(zhì)上,或直接打印輸出。
計(jì)算機(jī)配置:主流工作站,配置不低于DELL T3650;I5-11500;16G 1TB+512G SSD DVD RWP2422H
軟件控制系統(tǒng):立體顯示圖標(biāo),通過按鍵、鼠標(biāo)或手控盒(選配)自動完成調(diào)節(jié)操作:電位移調(diào)節(jié)、多標(biāo)尺
測量、電對中調(diào)節(jié)、物鏡反轉(zhuǎn)、物鏡調(diào)節(jié)、電旋轉(zhuǎn)調(diào)節(jié)等
中英文菜單一鍵切換,低倍率一鍵成像
自動功能:自動亮度/對比度、自動聚焦、自動消象散、自動燈絲調(diào)節(jié)
使用環(huán)境條件:
溫濕度:16~30℃;相對濕度小于70%
電力供應(yīng):埋設(shè)獨(dú)立的地線,保證其接地電阻小于5Ω,標(biāo)準(zhǔn)正弦波,無噪音、瞬變、振蕩和脈沖
供電:AC 220V(±10%),50Hz(±1%),總功率3000W
獨(dú)立空開,規(guī)格25A;可控制2個(gè)16A、不少于2個(gè)10A三芯插座
振動:在安裝位置上,任何方向的振動都應(yīng)小于3μm(P-P )
磁場:保證任何方向的磁感應(yīng)強(qiáng)度都應(yīng)小于3×10-7T(3毫高斯,P-P)
注:建議安裝2樓及以下,并遠(yuǎn)離地鐵、公路、鐵路等震源,遠(yuǎn)離變電設(shè)備、高頻設(shè)備等磁場干擾。
檢測圖像
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留 言
- 聯(lián)系人:牟淑蓉
- 電 話:0755-83981822/82513866
- 手 機(jī):13662293689
- 傳 真:0755-83986906
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